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Stellaオリジナル スクリーンマスクAOI ST-7080

 ST-7080はスクリーンマスク専用として開発したAOI装置です。


・突起、欠陥の検出能力は1μm
・スクリーンメッシュに絡みついた異物や乳剤残りを検出
・細線開口部にスクリーンメッシュで完全に塞がれた箇所を検出
・乳剤上にある微細ピンホールを検出
・乳剤の色合いや濃淡の違いによる検出能力差がない
・スループットは100×100oで約9分(@0.7μm画素)
・アライメントフリーで簡単操作
・オプションによりツインテーブル(2台連結)にすればスループットがさらにUP
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)

測定物仕様
測長可能範囲 590×490o 
最大測定物サイズ 700×750mm 
ステージ仕様
移動範囲[XY] 610×510mm 
移動範囲[Z] 50mm 
駆動方式 ステッピングモーター+ボールねじ 
制御 リニアスケールによるクローズドループ 
移動分解能 0.001mm 
観察仕様(エリアカメラ)
(ズームレンズ) (顕微鏡) 
レンズ倍率 1×〜4× 2X/5X/10X/20X/50X
視野範囲 6.48×3.61mm(1X)
〜1.62×1.15mm(4X)
3.28×2.30mm(2X)〜
0.13×0.09mm(50X)
画素寸法 3.2(1X)〜0.8μm(4X) 1.6(2X)〜0.06μm(50X)
カメラ 500万画素CMOSカラーカメラ 
照明 落射照明、同軸落射、透過照明 
ソフトウェア仕様
最小表示単位 0.0001mm 
測定機能 線幅、2点距離、直径、半径、角度、自動測長他
オプション機能 AOI機能、CADデータ化機能等
カメラ画像キャプチャ キャプチャ機能有り
結果の出力方式 CSV形式テキストファイル、印刷
ユーティリティー 
本体寸法 1135×1070×1544.5mm(WDH)
重量 約320s
電源 単相AC100V(+10%−5%)+接地アース 
PC仕様 
OS Windows10 Pro 64bit
CPU IntelまたはAMD
メモリー 64GB以上
ハードディスク容量 1TB以上
















































潟Xテラ・コーポレーション

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