独自開発マイクロステッピング技術を採用した最新鋭制御回路を搭載。専用MPU搭載でフルインテリジェンスリモートコマンド制御。ナノメーターレベルの位置決めを実現するマイクロステップをスピードを落とさず実現。微小位置決め時のハンチング、停止時の振動がなく、リペア装置に最適です。

5相モーター対応
最大20万ステップの高分解能かつ高速回転サポート。
20万step＠1200RPM〜4万step＠3000RPM

2相モーター対応
3200ステップ分解能で高速、高回転ドライブ。
最大5000RPMを実現、ネットワーク接続で最大64台のモーターを同時制御可能

微細位置決め時、ハンチングを起こさず、ホールド時の振動が発生しないため、高倍率アプリケーションに最適。

搭載イクイップメント
レーザーリペア装置
高精度測長機
精密マニピュレーター
多軸制御機器(最大64軸)

▲ピエゾコントローラ

▲次世代超分解能モーションコントローラ

次世代超分解能モーションコントローラ

　究極のマイクロステッピング技術を追求して1回転160万ステップの分解能を実現します。 自社開発のローテーションアナライ ザーで最大800万パルスのエンコーダーで校正し、コイルのバラツキによるステップ誤差をすべて記録して補正テーブルを作成することにより1回転全データ を補正します。

ピコメータ微動を可能にするピエゾコントローラ

　マイクロステップでナノメータ精度で位置決めし たうえで、さらなる精度追求のため、ピエゾ素子を用 いた超微細モーションコントロールも実現。最小位置決め50pm(0.05nm）を実現します。次世代微細加工技術を自社で実現することによりさまざまなアプリケーションに応用できる可能性があります。

高精度位置決めフィードバック

　高精度リニアスケールインターフェースでnmクラスまでクローズドループ制御が可能で す。自社開発のフィードバックコントローラにより高速、高精度、高トレーサビリティーを 実現。さらなる高精度に応えるため、レーザーインターフェロメータも自社開発しました。

　 レーザーも次世代半導体レーザーを使用し、超高精度TEC（ThermoElectronicControl）で0.001℃精度で温度制御することにより小型化・高精度化を実現。その他、超高精度ストレンゲージを用いたフィードバックも実現しています。