ST500/1100シリーズ

ST500/1100シリーズ(Repair Vision)はStella Vision for Javaの検査コマンド「外観検査」にて利用することが可能となります。

ST500/1100に接続されたUSBカメラからの映像を、Stella Vision 上に表示し検査します。映し出された映像と読み込んだCADデータを重ね合わせることで、CADパターンと実際の描画パターンとの相違を一目瞭然で確認することができます。

また、映像を静止画としてスナップしたり、画像の編集、管理を行うことも出来ます。

ハード、ソフト、ともに弊社のオリジナルのため、柔軟性に富んだ拡張が期待されています。


次のような順序で外観検査を行うことができます。
ST500/1100に検査する基板をセットします。

Vision上で元となるCADデータの読み込みを行います。

Stella Vision for Javaの外観検査コマンドを起動し、デバイスの設定、レンズの設定などを行います。ディスプレイ上に元となるCADデータと、ST500/1100から読み込まれた映像の2つを確認することができます。

CADデータと読み込まれた映像の両者のスケールと座標を合わせます。

目視による検査を行うことができます。





外観検査コマンドは現在、更なる機能の追加を行っております。新機能が追加され次第、随時Web上でご紹介していきます。


Repair Vision-ST500/1100 クロムパターン用・精度ーザーリペア装置

最小ステップ0.1 um以下のマイクロステップ制御。超高精度、高速モーションコントローラー搭載。


照射ランプ内蔵のCCDカメラ(USB)付きなので、オペレーターがモニターで観察しながら、検査やリペアを一台で実施できます


安定性が良く、カット面もシャープなNd:YAG, Qスイッチレーザーを使用しています。


Stella Vision for Javaを利用し、動作させることができます。ユーザフレンドリーなGUIを備えており、どなたでも簡単に操作することが可能です。通信形態は、シリアルによる接続です。Javaを利用していますので、マルチプラットホーム対応です。


■ 加速レート調整やXYアライメント機能もあり、ユーザー側でもトレーサビリティを取ることが出来ます。


CCDカメラはUSB2.0規格のものを利用するため、高解像度かつクォリティの高い画像取り込みを実現します。


-- システム構成 --



システム基本構成
PCコントローラー Windowsマシンにて動作。テーブル及びレーザーのコントロール
モーションコントローラー X,Yのモーションとスピードを制御
オプティクス ・高精度Plan-Opticsを採用。
・ディフェクトサイズに合わせた正確なターゲットを実現するVAPEユニット。
レーザー ・黒ピン補正のための266 nmまたは532 nm、QスイッチYagレーザー
・白ピンにペーストを焼き付ける780 nm 1 W、IRレーザー(オプション)
CCDカメラ ・すべてのプロセスをCCDカメラにて観察(眼の保護のため)
・レポート用キャプチャー機能
白ピン補正;(オプション) ・金、またはパラジウムペースト
・窒素洗浄(黒ピン補正時のレンズクリーニング用)

仕様概略
ST-500 ST-1100
ステージ部分
XYステージ駆動 ステップモーター(マイクロステップ制御)
最小移動距離 0.1μm
移動速度 最大150mm/sec
繰り返し位置決め精度 ±5μm
有効エリア 500mm x 500mm 1100mm x 850mm
ワークサイズ 700mm x 500mm 1200mm x 900mm
本体サイズ
外寸(H x W x Y) 1100mm x 1250mm x 1700mm 2200mm x 1200mm x 1950mm
重量 250kg 400kg
消費電力 2KVA
熱量 929kcal/h

レーザー発振器 Nd:YAG(波長532nm)
加工スリット 電動X, Y, θスリット
アパーチャーサイズ 最小2 um, 最大50 um
対物レンズ ×4, ×10, ×20, ×50
観察用照明 落射、透過照明
カメラ CCDカメラ(USB)
コントローラ
コントローラーPC IBM / AT互換機 (Intel Pentium4)
OS Windows
ソフトウェア機能 座標値移動(絶対・相対)、スピードコントロール、アライメント設定
(スキューネス、スケール)、外部ファイル読み込み(座標データー)、その他
その他
主なオプション機能 測長機能ソフトウェア、特殊形状アパーチャー