-- システム構成 --
| ■ システム基本構成 ■ |
| PCコントローラー |
Windowsマシンにて動作。テーブル及びレーザーのコントロール |
| モーションコントローラー |
X,Yのモーションとスピードを制御 |
| オプティクス |
・高精度Plan-Opticsを採用。
・ディフェクトサイズに合わせた正確なターゲットを実現するVAPEユニット。 |
| レーザー |
・黒ピン補正のための266 nmまたは532 nm、QスイッチYagレーザー
・白ピンにペーストを焼き付ける780 nm 1 W、IRレーザー(オプション) |
| CCDカメラ |
・すべてのプロセスをCCDカメラにて観察(眼の保護のため)
・レポート用キャプチャー機能 |
| 白ピン補正;(オプション) |
・金、またはパラジウムペースト
・窒素洗浄(黒ピン補正時のレンズクリーニング用) |
| ■ 仕様概略 ■ |
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ST-500 |
ST-1100 |
| ステージ部分 |
| XYステージ駆動 |
ステップモーター(マイクロステップ制御) |
| 最小移動距離 |
0.1μm |
| 移動速度 |
最大150mm/sec |
| 繰り返し位置決め精度 |
±5μm |
| 有効エリア |
500mm x 500mm |
1100mm x 850mm |
| ワークサイズ |
700mm x 500mm |
1200mm x 900mm |
| 本体サイズ |
| 外寸(H x W x Y) |
1100mm x 1250mm x 1700mm |
2200mm x 1200mm x 1950mm |
| 重量 |
250kg |
400kg |
| 消費電力 |
2KVA |
| 熱量 |
929kcal/h |
| レーザー発振器 |
Nd:YAG(波長532nm) |
| 加工スリット |
電動X, Y, θスリット |
| アパーチャーサイズ |
最小2 um, 最大50 um |
| 対物レンズ |
×4, ×10, ×20, ×50 |
| 観察用照明 |
落射、透過照明 |
| カメラ |
CCDカメラ(USB) |
| ■ コントローラ |
| コントローラーPC |
IBM / AT互換機 (Intel Pentium4) |
| OS |
Windows |
| ソフトウェア機能 |
座標値移動(絶対・相対)、スピードコントロール、アライメント設定
(スキューネス、スケール)、外部ファイル読み込み(座標データー)、その他 |
| ■ その他 |
| 主なオプション機能 |
測長機能ソフトウェア、特殊形状アパーチャー |
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