|
Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ
測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生
特徴
①機能拡張、カスタマイズ性
STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。
| 測定エリア |
500×600㎜ |
| 最小位置決め |
0.5μm |
| 倍率 |
×100、×400選択 |
| 速度 |
150㎜/sec |
| 線幅測定精度 |
1μm(×400時) |
カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。
また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
もちろん、複数台を同期して操作することもできます。
②コンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
用途によってデスクトップでも使用可能です。
また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。
スクリーンマスク用AOI「LST4050AOI」
・突起、欠陥の検出能力は1μm
・スクリーンメッシュに絡みついた異物や乳剤残りを検出
・細線開口部にスクリーンメッシュで完全に塞がれた箇所を検出
・乳剤上にある微細ピンホールを検出
・乳剤の色合いや濃淡の違いによる検出能力差がない
・スループットは100×100㎜で約9分(@0.7μm画素)
・アライメントフリーで簡単操作
・オプションによりツインテーブル(2台連結)にすればスループットがさらにUP
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)
㈱ステラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
ホームページ https://www.stellacorp.co.jp
|
