T800/ T8000

■生産性
TITANは、革新的なAOI光学式検査システムです。優れた検出力とスループットを兼ね備えたTAITANは、AOI光学式検査システムの最先端を走ります。

■検査
TITAN は、ピクセル単位の完全CAD比較原理を採用しています。この検査方式は、いかに複雑な描画デザインでも関係無く検査が行えます。同時に検査効率はピクセル単位での違いを正確に見極める独自の重点検査範囲指定機能 EMVTM により大幅な進歩を遂げました。そして、お客様が設定した品質保証のルールをより明確にフィードバックできる方法を確立しました。

■インテリジェンス
TITAN は、強力な 光学メカニカルズームレンズの採用により、高品質の画像と幅広い解像度を提供します。高感度CCD カメラは、非常に繊細な欠陥さえも見逃しません。このように TITAN は、内層・外層の量産品から品質管理には欠かせないドライフィルム・フォトツールまで幅広く柔軟に対応します。
SVITM TITAN 上での欠陥箇所の確認は、ライブ画像とデジタル表示された欠陥箇所を同一画面上に並べ比較できます。更に不良解析・修理用にインクマークスタンプも用意しております。
VRACTM 基板位置補正は、幾何学的に画像を変換することで基板固定用のツーリングピンを使わず自動補正が行えます。微細パターン検査時には、より効果的に活用できます。

■人間工学に基づいたオペレーション
Windows XP ベースのシステムソフトは、ユーザーフレンドリーに仕上がりました。１６ボタンキーパッドとワイドスクリーンモニターで誰もが簡単にオペレーションできます。フラットパネルには、ライブ画像 とCADデータが同時に表示されますので オペレーターの疲労も軽減されます。フリップパネルモードは、表裏面の連続的な検査が可能であり、ハンドリングタイムの短縮とスループットの大幅な向上が図られました。 高速高品位検査は、収益性が改善されるばかりでなく、オペレーター が安心し満足して頂ける環境を提供します。