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 Special Serialization■図解!! PDPの構造と製造プロセス
第9回 排気孔用透明誘電体形成プロセス

 放電セルをマトリクス状などにパターニングするクローズドセルPDPでは、排気孔用透明誘電体層を設けるケースが多い。セルをクローズドにするとパネル排気時に排気孔が確保できないため、膨大な排気時間がかかるからだ。そのため、バリアリブの上部に該当する部分を凹部にパターニングして排気孔を確保する。

 
スクリーン印刷法

感光性ペースト・感光性テープラミネート法


※パターニング後に一括焼成


 上図のように、形成法はスクリーン印刷法、感光性ペースト法、感光性テープ法に大別される。感光性ペースト法・テープ法はネガ型感光性樹脂を用いるため、露光時のUV透過率の関係で現像後の形状は逆台形状になるが、焼成条件を最適化すれば逆台形の“カド”がとれるばかりか、ガラスパウダーの溶融によって最終的には台形状にパターニングできる。一方、スクリーン印刷法もパターニングしたペーストが焼成で溶融し左右にだれながらテーパー状になるため、自然に断面形状はテーパー化される。いうまでもなく、透明誘電体層はPDPにとって付加価値の高い構造物ではないため、今後、ローコスト化のため排気孔用誘電体層はレス化またスクリーン印刷法が主流になる可能性が高い。

■工法の比較

形成法
XY精度
膜厚精度
テーパ加工制御
透過性
絶縁性
脱バインダ
フルHD対応
実績
コスト
工程数/タクト
装置コスト
直接材料コスト
間接部材コスト
歩留り
トータル
スクリーン印刷法
感光性ペースト法
感光性シート法
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