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 Special Serialization■図解!! PDPの構造と製造プロセス
第4回 ハニカム構造セルPDPのプロセスフロー

 ハニカム構造セルPDPの製造フローは下図の通り。マトリクス構造セルと同様、セルを完全にクローズド化してしまうため、両面基板貼り合わせ後に排気しにくいという弱点があり、その対策として下図のように前面基板の透明誘電体層に段差を設けて排気孔を確保するケースが多い。また、蛍光体層を計7面に設けることができるため高効率化・高輝度化に有利な反面、リブをファイン化する必要があるなど高度なプロセス技術が必要になる。


前面基板

背面基板


ガラス基板洗浄


ガラス基板洗浄




透明電極形成(パターニング)




アドレス電極形成パターニング)


バス電極形成(パターニング)




白色誘電体層形成(ベタパターン)


ブラックストライプ形成(パターニング)


バリアリブ形成(パターニング)




透明誘電体層形成(ベタパターン)




蛍光体層形成(パターニング)




(排気孔用透明誘電体層形成(パターニング))




シール層形成


保護膜形成





スクライブ・ブレーク





スクライブ・ブレーク




パネル組立


アライメント&貼り合わせ




封着・排気・ガス封入・封止




エージング




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