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パッシブマトリクス駆動有機ELディスプレイ製造フローとステラプロダクト

製造フロー(PM駆動低分子カラーパネル)
ステラプロダクト

デバイス構造


 

@CADデータ作製



Aアノード形成



レジスト現像後およびパターニング後、測長&外観検査

測長&AOI装置「STシリーズ

ITOパターニング後、リペア
リペア装置「Repair Vision」


(B 補助電極形成)



レジスト現像後およびパターニング後、測長&外観検査
測長&AOI装置「STシリーズ

メタルパターニング後、リペア
リペア装置「Repair Vision」


C絶縁層形成




現像後、測長&外観検査

測長&AOI装置「STシリーズ」

Dカソードセパレータ形成



現像後、測長&外観検査

測長&AOI装置「STシリーズ


Eホール注入層、ホール輸送層形成


 


F発光層形成


 


G電子輸送層形成


 

Hアルカリバッファ層形成



 

Iカソード形成


 

J封止


 
 

L回路基板実装


 

M円偏光フィルム貼り付け


 

潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
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