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絵で見るCNT-TFT製造プロセス2012年版
★次世代のTFT、CNT(カーボンナノチューブ)-TFTの製造プロセスをCD-ROMで完全図解 ★基本プロセスから次世代プロセスまでをフルカバー ★デバイス構造、使用材料をわかりやすく分類 ★CNT-TFTの二大用途であるプリンタブルTFTと高性能TFTの違いを明記 ★ポイントであるCNT半導体層形成プロセスはプリトリートメント処理からCVD/ウェットコートフローまで詳細に解説 ★デバイス構造図、プロセスフロー図をすべて3D化 ★ファイルはインターネットエクスプローラーなどのブラウザ形式なのでどんなPCでもOK ★トップページから各論へ自在にアクセス可能 ★ボリュームはブラウザページに換算すると計35ファイル(A4用紙換算で100ページ相当) ★プロセスフロー図は190 |
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■CNT-TFTの構造 ■ボトムコンタクト型の製造フロー(総論) ■トップコンタクト型の製造フロー(総論) ■ゲート形成プロセス ■ゲート絶縁膜形成プロセス ■ソース/ドレイン形成プロセス ■画素電極形成プロセス ■半導体層形成プロセス ■表面改質プロセスを利用したソース/ドレインと半導体層形成プロセス ■パッシベーション形成プロセス ■フレキシブル基板製CNT-TFT作製における注意点 |
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CD-ROM for Windows & Macintosh
発行:2012年4月9日
定価:総額17,850円
※価格には送料も含まれています。
販売元:ステラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
TEL:047-432-5031
FAX:047-432-5032
E-Mail:info@stellacorp.co.jp